日本精工開發(fā)出了在100℃的環(huán)境條件下亦可以±10秒的絕對精度檢測的角度傳感器系統(tǒng)。主要用于搬運設備、液晶制造設備、太陽能電池制造設備、半導體制造設備及汽車制造設備等的角度檢測。
在開發(fā)并采用新的高精度補償（誤差補償）算法的同時，還應用該公司生產(chǎn)的DD（直接驅動）馬達“Megatorque Motor”上采用的“多極旋轉變壓器技術”，實現(xiàn)了與光學方式相同的高絕對精度。多極旋轉變壓器方式的特點是不易受振動、溫度及油霧等的影響。通過這些措施，即使在高溫條件下，也可獲得高精度。
盡管是角度傳感器，但通過采用4點接觸的球軸承使其能夠承受直接負荷，因此比原來更堅固、更易操作。另外，通過在軸承內(nèi)側配備小型旋轉變壓器，使高度較原來縮小了一半，只有35mm。旋轉速度為600rpm，絕對角度的最小分辨率為0.5秒（262萬等分）。
另外，該公司預定在2008年12月3～5日舉辦的“SEMICON JAPAN 2008”（幕張Messe會展中心）”上展出此開發(fā)品。
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