1納米(1nm)晶體管打破了過去業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為的5nm晶體管物理限制,長久以來主宰半導(dǎo)體市場的摩爾定律正在遭遇挑戰(zhàn)。
美國能源署(DOE)旗下勞倫斯伯克利國家實(shí)驗(yàn)室(Lawrence Berkeley National Laboratory)的研究人員稱已開發(fā)出1納米(1nm)晶體管,打破了過去業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為的5nm晶體管物理限制,長久以來主宰
半導(dǎo)體市場的摩爾定律正在遭遇挑戰(zhàn)。
1nm晶體管由勞倫斯伯克利國家實(shí)驗(yàn)室的科學(xué)家Ali Javey所帶領(lǐng)的研究團(tuán)隊(duì)開發(fā)。長久以來,晶體管柵極長度一直被認(rèn)為很難突破物理限制,但我們展示的1nm晶體管選擇了適當(dāng)?shù)牟牧希瑢⑹刮磥淼碾娮赢a(chǎn)品有更多的微縮空間。
1nm晶體管由碳納米管和二硫化鉬(MoS2),這是一種常見于汽車配件商店的發(fā)動(dòng)機(jī)潤滑油。二硫化鉬在發(fā)光二極管(LED)、激光(Laser)、納米晶體管,太陽能電池等領(lǐng)域中有著巨大應(yīng)用潛力。
具有二氧化鉬通道和1nm碳納米管柵極的晶體管原理圖。(圖片來源:Sujay Desai / UC Berkeley)
參與這項(xiàng)研究的科學(xué)家Sujay Desai指出,半導(dǎo)體行業(yè)一直認(rèn)為尺寸小于5nm的柵極就無法運(yùn)作了,因而不考慮5nm以下的工藝尺寸。而這次的研究則表明小于5nm柵極的研究不應(yīng)被忽視。“產(chǎn)業(yè)界一直在設(shè)法擠出硅的最后一點(diǎn)效能,通過將硅換成二硫化鉬,我們可以用一個(gè)長度僅1nm的柵極制作晶體管,并使其具有開關(guān)功能。”
當(dāng)“電子失去控制”
該晶體管由三部份組成:一個(gè)源極,一個(gè)漏極,和一個(gè)柵極。電流從源極流到漏極,由柵極控制電流,并響應(yīng)施加的電壓而開啟或關(guān)閉。
硅和二硫化鉬都具有晶格結(jié)構(gòu),但與二硫化鉬相比,流過硅的電子較輕且阻力較小。當(dāng)柵極在5nm或更大尺寸時(shí)這是一個(gè)好消息。但在5nm以下便會(huì)面臨稱之為穿隧效應(yīng)的量子物理現(xiàn)象,柵極障壁無法再讓電流從源極流到漏極。
“這意味著我們不能關(guān)閉晶體管,”Desai說。“電子已經(jīng)失去控制。”
由于流經(jīng)MoS2電子更重,因而可用較小的柵極來控制電流。二硫化鉬還可以微縮到原子級,約0.65nm厚,并具有較低的介電常數(shù),具有在電場中儲(chǔ)存能量的能力。

晶體管的橫截面。它顯示了由絕緣體二氧化鋯分離的1nm碳納米管柵極及二硫化鉬。(圖片來源:Qingxiao Wang / UT Dallas)
選用二硫化鉬做為半導(dǎo)體材料后,研究人員開始制作柵極,但迄今業(yè)內(nèi)并沒有適用1nm規(guī)模的光刻技術(shù),因而研究人員采用了直徑僅有1nm的空心圓柱碳納米管。對器件進(jìn)行的電性能測量表明,碳納米管能有效控制電子的流動(dòng)。
Javey表示,這項(xiàng)研究證實(shí)了其團(tuán)隊(duì)的概念。他們尚未將晶體管封裝到芯片上。但他也指出,未來晶體管將不再受限于5nm柵極,通過改變半導(dǎo)體材料和結(jié)構(gòu),摩爾定律還會(huì)持續(xù)下去。
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